Ảnh hưởng của hàm lượng Ti đến cấu trúc và tính chất của màng nanocomposite
Email tác giả liên hệ:
tapchikhgkdt@hcmute.edu.vnTừ khóa:
màng nanocomposite nc-TiC/a-C, magnetron sputteringTóm tắt
Trong bài báo này, chúng tôi nghiên cứu ảnh hưởng của hàm lượng Ti đến các tính chất của màng nanocomposite nc-TiC/a-C phủ bằng phương pháp magnetron sputtering với hai âm cực là Ti và graphite. Các kỹ thuật chẩn đoán cao cấp như XRD, XPS, TEM, máy đo độ cứng nano, … đã được sử dụng để xác định cấu trúc và tính chất của màng. Kết quả thí nghiệm chỉ ra rằng khi hàm lượng Ti nhỏ hơn 8 at.% thì chưa có sự hình thành nanocomposite và Ti tồn tại trong màng như một pha vô định hình. Với hàm lượng Ti từ 8 đến at.45% thì sự hình thành nanocomposite được xác định. Khi hàm lượng Ti lớn hơn 45 at.%, màng hầu như là TiC đa tinh thể. Nanocomposite có thể đạt được độ cứng tương đương với carbon giống kim cương (33 GPa) trong khi ứng suất nội chỉ bằng một nửa. Vật liệu nanocomposite cho thấy tiềm năng ứng dụng kỹ thuật rất lớn.
Tải xuống: 0
Tài liệu tham khảo
U. Helmersson, S. Todorova, S.A. Barnett, J.-E. Sundgren, L.C. Markert, J.E. Greene, Journal of Applied Physics 62 (1987) 481.
P. Mirakami, L. Hultman, S.A. Barnett, Applied Physics Letters 57 (25) (1900) 2654.
D. Li, X.W. Lin, S.C. Chen, V.P. Dravid, Y.W. Chung, M.S. Wong, W.D. Sproul, Applied Physics Letters 68 (9)(1996)1211.
B.G. Wendler, P. Kula, K. Jakubowski, S. Fauvry, Ph. Kaspa, L. Vincent, D. Heper, Proc. 36th Tagung der Deutschen Gesellschaft fur Obrfl acchen-und Galvanotechnik, October 79, Schwabisch Gmund, Germany (1998) 6-11.
J.M. Schneider, W.D. Sproul, A.A. Voevodin, A. Matthews, Journal of Vacuum Science Technology A 15(3) (1997) 1084.
J.M. Schneider, W.D. Sproul, Reactive poatings Technology 167 (2003) 137-142.
M.V. Zdujic, O.B Milosevic, L. C Karanovic, Materials Letter 13 (1992) 125-128.
A. Brenner, S. Senderof, Journal of Research of the National Bureau of Standards 42(1949)89.
W. A. Brantley, Journal of Applied Physics 44(1973)534-535.
A. A. Voevodin, J. S. Zabinshi, Journal of Materials Science 33(1988)319-327.
Y. Lifshitz, Diamond and Related Matrials 8 (1999) 1659-1676.
Tải xuống
Đã Xuất bản
Cách trích dẫn
Giấy phép
Tác phẩm này được cấp phép theo Giấy phép quốc tế Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 .
Bản quyền thuộc về JTE.
